用低压化学汽相淀积制备TiO_2薄膜

来源 :微电子学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：dlufey

【摘要】

：

用低压化学汽相淀积制备ＴｉＯ＿２薄膜＝ＴｈｉｎＴｉＯ＿２ｆｉｌｍｓｐｒｅｐａｒｅｄｂｙｌｏｗｐｒｅｓｓｕｒｅｃｈｅｍｉｃａｌｖａｐｏｒｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ［刊，英］／Ｒａｕｓｃｈ，Ｎ．…Ｊ．Ｅｌｅｃ－ｔｒｏｃｈｅｍ．Ｓｏｃ．－１９９３，１４０（１）．... Preparation of TiO_2 Thin Films by Low Pressure Chemical Vapor Deposition = ThinTiO_2filmspreparedbylowpressurechemicalvapo

【出处】

：

微电子学

【发表日期】

：

1994年03期

【关键词】

：

化学汽相淀积 TiO_2薄膜动态随机存储器立式炉多晶结构氧化钛化学配比介质材料钛化合物电特性

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