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从传统的声学扫描技术在对薄芯片和多层结构检测时所表现的不足引入,主要阐述了双波透射技术在此领域应用的突出优势,介绍了双波透射技术的工作原理及其关键部件反射板的选取,以及双波透射技术的应用前景.
双波透射技术在薄芯片无损检测中的应用
【摘 要】
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从传统的声学扫描技术在对薄芯片和多层结构检测时所表现的不足引入,主要阐述了双波透射技术在此领域应用的突出优势,介绍了双波透射技术的工作原理及其关键部件反射板的选取
【机 构】
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信息产业部电子第五研究所,电子元器件可靠性物理及其应用技术国家重点实验室
【出 处】
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电子产品可靠性与环境试验
【发表日期】
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2004年1期
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