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本文以实际生产中β-射线厚度测量仪的记录为依据,对生产中常见的七种薄膜厚度缺陷进行了分类和详细的特征分析,在此基础上,采用适当的工艺手段(如温度、拉伸比等)对心上七种缺陷进行调节改善,结果表明:通过工艺手段能使生产中的这些缺陷得到较好的改善。辅以厚度自动控制系统,为生产中薄膜质量的提高提供了较为实际的经验和数据。