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本文以实际生产中β－射线厚度测量仪的记录为依据，对生产中常见的七种薄膜厚度缺陷进行了分类和详细的特征分析，在此基础上，采用适当的工艺手段（如温度、拉伸比等）对心上七种缺陷进行调节改善，结果表明：通过工艺手段能使生产中的这些缺陷得到较好的改善。辅以厚度自动控制系统，为生产中薄膜质量的提高提供了较为实际的经验和数据。