【摘 要】
：
针对目前体硅腐蚀(硅各向异性腐蚀)的3DCA模型无法引入(211),(311),(331),(411)等较多高密勒指数晶面,模拟精度不高的问题,建立了一种高精度的体硅腐蚀模拟的新3D连续CA(元胞
论文部分内容阅读
针对目前体硅腐蚀(硅各向异性腐蚀)的3DCA模型无法引入(211),(311),(331),(411)等较多高密勒指数晶面,模拟精度不高的问题,建立了一种高精度的体硅腐蚀模拟的新3D连续CA(元胞自动机)模型.模型可以有效引入(211),(311),(331),(411)等高密勒指数晶面,提高模拟精度.模拟结果与实验结果一致,证明了模型的模拟效果,对体硅腐蚀模拟研究和提高MEMS设计水平具有一定的实用意义.
其他文献
学生因效能预期失衡而产生的认知失调导致作弊行为的产生,那么,大学生效能预期与作弊行为存在什么联系?大学生效能预期存在哪些问题?如何探索大学生的效能预期现状?效能预期
互联网是经济转型升级的重要引擎,维护网络安全的急迫性与重要性随着社会的发展日渐突出。为了提高网上应用可靠性,防止网络资源遭受破坏,网络安全设备起着至关重要的作用。
O引言粉煤灰在水泥生产上主要用于代替粘土质原料配料和作为混合材使用.但由于许多电厂为了便于贮运,都采取干收湿排或湿收湿排的方法,将粉煤灰用水冲至贮灰场,造成粉煤灰的
低价石灰石多属于乌鲁木齐周边的矿点,由方解石和少量白云石组成,方解石呈颗粒状,双晶明显,闪突起,晶粒大小不齐,大晶粒达50μm,一般晶粒14～28μm,含量约90%;白云石呈颗粒状,
目的:犬传染性肝炎(Infectious canine hepatitis,ICH)是由犬传染性肝炎病毒(Infectious canine hepatitis virus,ICHV)引起的一种常见的急性败血性传染病。本病多发生于1岁
我公司有一条年产20万t熟料、带6000kW余热发电、窑型为φ4.0m×80m回转窑.前两年出现发电量不稳定且达不到设计要求,熟料质量差,锅炉堵灰,烟室堆雪人严重等现象,给生产
德国Tyrol南部Kaltern附近于1997年建成的一条供饮用水的隧道，用喷射混凝土护壁，仅数年后就已损坏，究其原因，乃岩石中有黄铁矿，氧化后与混凝土反应成硅灰石膏[Ca3Si（OH）6·12H2O
对分课堂是复旦大学张学新教授最近提出的一种结合了讲授式教学和讨论式教学优点的新型教学模式。对分课堂在发挥教师教学主导作用的同时,又充分体现了学生的主体作用。根据
针对我国煤矿安全生产现状,从国家、企业、个人角度深入的剖析目前在煤矿安全生产过程中存在的问题,例如安全生产法律法规体系不完善、机械化程度不均衡、安全管理滞后、煤矿
简要介绍我国露天矿的发展,阐述大型露天矿开采所需的设备及其国内外技术发展现状。详细介绍了"十二五"期间露天矿开采所需设备的技术发展方向、总体目标、研发的关键共性技