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日本应用微系统公司(Appliexi Microsystem)日前成功开发了利用压电元件进行驱动的3cm见方的小型机器人。它能以nm为单位移动，有望在电子显微镜小型观察室内进行的加工作业以及显微受精等微观领域得到应用。
日本应用微系统公司开发出3cm见方的小型机器人
【摘 要】
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日本应用微系统公司(Appliexi Microsystem)日前成功开发了利用压电元件进行驱动的3cm见方的小型机器人。它能以nm为单位移动，有望在电子显微镜小型观察室内进行的加工作业以
【出 处】
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传感器世界
【发表日期】
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2005年2期
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