【摘 要】
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对大型固体激光装置中的关键器件—大尺寸1064 nm波段Hf O2/Si O2窄带滤光片进行了研究,分析了监控波长对信噪比和光源稳定性的影响。通过优化监控参数,设备监控精度可达到镀
【机 构】
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中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所,同济大学精密光学工程技术研究所,
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对大型固体激光装置中的关键器件—大尺寸1064 nm波段Hf O2/Si O2窄带滤光片进行了研究,分析了监控波长对信噪比和光源稳定性的影响。通过优化监控参数,设备监控精度可达到镀制窄带滤光片的需求。制备过程中的薄膜光谱分析表明:随着蒸镀过程的进行,氧化铪(Hf O2)的实际厚度会逐渐小于设计值,而二氧化硅(Si O2)的实际厚度则会逐渐大于设计值;这种变化趋势导致的厚度误差会严重影响带通的波形;另外掩模板造成的厚度误差也是影响带通波纹的重要因素之一。通过分析研究和优化以上因素,制备了半峰全宽为5 nm、通光口径达200 mm×200 mm、在1064 nm处损伤阈值高于19.5 J/cm~2(3 ns)的窄带滤光元件。
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