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Ａｌ２Ｏ３薄膜具有良好的光学特性，高的绝缘强度，良好的抗氧化腐蚀能力，越来越受到人们的普遍重视。本文对反应溅射Ａｌ２Ｏ３薄膜的沉积过程及其抗氧化腐蚀性能进行综合评述。
反应溅射Al2O3薄膜研究之进展
【摘 要】
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Ａｌ２Ｏ３薄膜具有良好的光学特性，高的绝缘强度，良好的抗氧化腐蚀能力，越来越受到人们的普遍重视。本文对反应溅射Ａｌ２Ｏ３薄膜的沉积过程及其抗氧化腐蚀性能进行综合评述。
【机 构】
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中国科学院金属腐蚀与防护研究所
【出 处】
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功能材料
【发表日期】
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1995年5期
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