预退火工艺对Bi3.15Nd0.85Ti3O12铁电薄膜性质的影响

来源 :苏州科技学院学报：自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：aa87850011

【摘要】

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采用溶胶一凝胶法在Pt／Ti／SiO2/Si基片上制备了Bi3.15Nd0.85Ti3O12铁电薄膜。将薄膜分别进行每一层预退火、每二层预退火、每三层空气中500℃预退火10min，分别称为a．b、c组薄膜，最

【作者】

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侯芳臧涛成李建康

【机构】

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苏州科技学院数理学院

【出处】

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苏州科技学院学报：自然科学版

【发表日期】

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2009年1期

【关键词】

：

溶胶-凝胶法铁电薄膜混合取向抗疲劳特性 sol-gel process ferroelectric films mixed orientation

【基金项目】

：

[基金项目】苏州科技学院科研基金资助项目（Z1114）

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采用溶胶一凝胶法在Pt／Ti／SiO2/Si基片上制备了Bi3.15Nd0.85Ti3O12铁电薄膜。将薄膜分别进行每一层预退火、每二层预退火、每三层空气中500℃预退火10min，分别称为a．b、c组薄膜，最后都于氮气氛中680℃总退火0．5h。结果表明，预退火工艺对薄膜的铁电性能影响较大，而对取向基本没有影响。同时，a,b两组薄膜的铁电性能（2Pr分别为47．8μC／cm2。和51．9μC／cm2）远远优于c组薄膜的铁电性（2Pr=28．7 μC／cm2）。所有Bi3.15Nd0.85Ti3O12薄膜

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