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Mocvd法生长外延片，是当前制做LED产品关键工艺，外延材料是LED核心部分。所以要获得符合要求的外延层，必须做好方方面面的质量控制工作。以Mocvd法生长GaAs外延层为例，结合理论和实践经验，进一步论述Mocvd法生长GaAs外延片的一些方法和经验。
GaAs外延片质量控制
【摘 要】
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Mocvd法生长外延片，是当前制做LED产品关键工艺，外延材料是LED核心部分。所以要获得符合要求的外延层，必须做好方方面面的质量控制工作。以Mocvd法生长GaAs外延层为例，结合理论和
【机 构】
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珠海市金威电子公司
【出 处】
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广东科技
【发表日期】
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2012年21期
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