【摘 要】
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针对复合热膜应用于低风速和湍流强度测量方法进行了研究。风洞在进行低风速测量时普遍存在输出灵敏度不高的问题，采用增加热膜与环境温度差的方法，提高了热膜敏感探头在低速范
【机 构】
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中国空气动力研究与发展中心设备设计及测试技术研究所
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针对复合热膜应用于低风速和湍流强度测量方法进行了研究。风洞在进行低风速测量时普遍存在输出灵敏度不高的问题，采用增加热膜与环境温度差的方法，提高了热膜敏感探头在低速范围的输出灵敏度，实现了2m／s 内的风速和湍流准确测量。考虑到气体温度对热膜探头输出信号的影响，对温度补偿方法和补偿电路进行了研究，通过对电路的合理设计，实现了温差的精确控制。对热膜结构、尺寸和器件进行合理匹配，实现了复合热膜敏感探头的微型化设计。采用 MEMS 技术，通过最大限度减小加热电阻和测量电阻的尺寸，达到了较好的响应频率。测试结果表明
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