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本发明是一种用气体（如Ar，He，N2，N2＋H2）射频等离子体对TiO2纳米晶进行处理，来提高TiO2光电池光电转换效率的方法，该方法是：将纳米二氧化钛放入射频等离子体发生装置中，抽真空后，至少通入下列气体之一：Ar，He，N2，N2＋H2，到射频等离子体发生装置中，调节气体流速0．01-0．90L／min、射频功率为50-1000W、温度为100-550∩及处理时间为0．5-10h，即得到所需产品。处理后的TiO2纳米晶比未处理的TiO2纳米晶具有更好的光电转换性能，其光电转换效率可提高30％-80％