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氮气流量对电弧离子镀CrN薄膜组织结构和性能的影响
氮气流量对电弧离子镀CrN薄膜组织结构和性能的影响
来源 :真空 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wuhaha_123
【摘 要】
:
利用电弧离子镀技术在高速钢基体上于不同氮气流量条件下制备CrN薄膜样品,通过纳米压痕仪、XP-2台阶仪、SEM和XRD测试分析了薄膜的硬度、弹性模量、厚度、表面形貌和物相结构
【作 者】
:
范喜迎
黄美东
李洪玉
刘野
许世鹏
薛利
潘玉鹏
【机 构】
:
天津师范大学物理与电子信息学院,天津,300387
【出 处】
:
真空
【发表日期】
:
2013年3期
【关键词】
:
电弧离子镀
CrN薄膜
氮气流量
结构
性能
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利用电弧离子镀技术在高速钢基体上于不同氮气流量条件下制备CrN薄膜样品,通过纳米压痕仪、XP-2台阶仪、SEM和XRD测试分析了薄膜的硬度、弹性模量、厚度、表面形貌和物相结构.实验结果表明,氮气流量对CrN薄膜的组织结构和力学性能都具有较为明显的影响.
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