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光刻技术综述
光刻技术综述
来源 :光学仪器 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hellomfc
【摘 要】
:
叙述了光刻技术在微电子、光学仪器制造中的发展情况,同时,介绍了近几年发展起来的立体光刻原理。
【作 者】
:
范华良
曹向群
金彤
【机 构】
:
浙江大学光科系 310027 杭州玉泉
【出 处】
:
光学仪器
【发表日期】
:
1992年03期
【关键词】
:
光刻
激光
立体光刻
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叙述了光刻技术在微电子、光学仪器制造中的发展情况,同时,介绍了近几年发展起来的立体光刻原理。
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