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近日,北京电子控股公司所属北方微电子公司开发生产的ELEDETM330高密度等离子ICPN蚀机完成组装调试,正式交付客户使用。ELEDETM330是北方微电子半导体刻蚀技术在LED领域的成功扩展,该设备的成功上线,标志着国产LED刻蚀设备已得到主流生产线的认可,使我国高端LED设备的国产化水平得到了新的提升。