【摘 要】
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本文针对FMS中容栅自动检测系统进行了理论分析，介绍了容栅民的结构和工作原理，分析了其原理误差和刻线误差，从而为提高其测量精度和误差修正与补偿提供了必要的理论基础。
In
【机 构】
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哈尔滨工业大学,哈尔滨工业大学,黑龙江雄鹰集团,哈尔滨工业大学,哈尔滨工业大学
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本文针对FMS中容栅自动检测系统进行了理论分析，介绍了容栅民的结构和工作原理，分析了其原理误差和刻线误差，从而为提高其测量精度和误差修正与补偿提供了必要的理论基础。
In this paper, a theoretical analysis is made on the automatic inspection system of the capacitive grid in FMS, the structure and working principle of the capacitive grid are introduced, the principle error and the scribing error are analyzed, which provides the necessary measures to improve the measurement accuracy and error correction and compensation Theoretical basis.
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