光盘预刻槽形测量的扫描隧道显微技术

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本文报道用自行设计的扫描隧道显微镜对光盘预刻槽进行测量。为观察大范围的结构,我们设计了一个新的大范围扫描头(~6 μm),并成功地观察到预刻的槽形,给出了光盘预刻槽的灰度图像、三维轮廓像及剖面轮廓。为评价预刻的槽形提出了一种有效的测量手段。
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