压电陶瓷在精密超精密领域的应用及发展

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论述压电陶瓷在高精度领域的不同应用,包括压电陶瓷对物体微小形变测量、压电陶瓷作为传感元件与谐振器结合应用、压电传感技术在应力测量领域应用、压电陶瓷作为驱动器在纳米定位领域应用、压电陶瓷对材料构件损伤识别、压电陶瓷在无损检测领域应用、基于相移干涉法对三维表面微观轮廓检测等;描述压电材料分类以及特性;深度剖析压电陶瓷在当前科技发展阶段不同工业领域的应用,分析目前研究中的难点,展望未来的研发方向。
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