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引线键合是半导体器件最主要的一种互连方法。介绍了引线键合机键合头的几种基本结构，并对比分析了不同结构对键合工艺产生的影响。
键合机劈刀滑移问题的分析
【摘 要】
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引线键合是半导体器件最主要的一种互连方法。介绍了引线键合机键合头的几种基本结构，并对比分析了不同结构对键合工艺产生的影响。
【机 构】
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北京中电科电子装备有限公司
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2009年4期
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