BCN薄膜的硬度和剩余应力的研究

来源 :安徽理工大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：naughty009

【摘要】

：

类金刚石结构的立方"BCN"材料由于兼有金刚石和立方氮化硼超硬、低摩擦的优点,如有低摩抗磨、高的热稳定性和化学稳定性,并克服了它们的缺点,因而BCN薄膜材料被作为耐磨保护

【作者】

：

孙雅琴严少平

【机构】

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安徽理工大学数理系,安徽理工大学数理系

【出处】

：

安徽理工大学学报(自然科学版)

【发表日期】

：

2005年4期

【关键词】

：

射频磁控溅射 BCN薄膜硬度和剩余应力偏压 reactive magnetron sputtering boron nitride carbon thin

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类金刚石结构的立方"BCN"材料由于兼有金刚石和立方氮化硼超硬、低摩擦的优点,如有低摩抗磨、高的热稳定性和化学稳定性,并克服了它们的缺点,因而BCN薄膜材料被作为耐磨保护层,在电学、光学方面的性能也得到广泛应用.应用反应磁控溅射法将高质量的BCN薄膜沉淀在硅基底上,通过用微压痕测量和弯曲技术研究了他们硬度和剩余应力,发现施于薄膜沉淀物上的偏压对其硬度和剩余应力均有重要影响.

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