【摘 要】
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针对由于尺寸效应导致粘着力对微电子机械性能影响的问题,建立了数字微镜的弹性片同基底之间纳米接触的物理模型.根据Hamaker三个假设和Lennard-Jones势理论,用连续方法推导
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针对由于尺寸效应导致粘着力对微电子机械性能影响的问题,建立了数字微镜的弹性片同基底之间纳米接触的物理模型.根据Hamaker三个假设和Lennard-Jones势理论,用连续方法推导出弹性片同基底之间粘着力的力学模型,并得到数值结果.仿真出粘着力同接触间距以及弹性变形的关系,数值结果和仿真结果同相关实验一致,从而得出粘着力在微电子机械中不可忽略的结论,为纳米碰撞及纳米摩擦、纳米接触的进一步研究提供了理论基础.
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