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四探针测试法是测量半导体材料电阻率的主要手段,光照是影响测试精度的一种环境因素。文章利用RTS-8型四探针测试仪在不同光照环境下对样品进行测试,分析测量数据,结合相关理论,研究光照对测量结果的影响机制。
光照对半导体电阻率测试的影响分析
【摘 要】
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四探针测试法是测量半导体材料电阻率的主要手段,光照是影响测试精度的一种环境因素。文章利用RTS-8型四探针测试仪在不同光照环境下对样品进行测试,分析测量数据,结合相关理
【机 构】
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南京信息职业技术学院
【出 处】
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中国高新技术企业
【发表日期】
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2012年26期
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