【摘 要】
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1 硬涂层 近三年来已能在几何形状复杂的三维构件上，采用PVD涂层工艺均匀地涂复几种性质不同的硬质层，如TiN,TiCN和TiAIN等，迄今所采用的沉积温度为500-600℃,现在可降到180℃。
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1 硬涂层 近三年来已能在几何形状复杂的三维构件上，采用PVD涂层工艺均匀地涂复几种性质不同的硬质层，如TiN,TiCN和TiAIN等，迄今所采用的沉积温度为500-600℃,现在可降到180℃。发展了新一代的涂层设备，
1 hard coating The past three years have been able to complex geometry of the three-dimensional components, the use of PVD coating process evenly coated with several different properties of hard layers, such as TiN, TiCN and TiAIN so far the deposition temperature 500-600 ℃, now down to 180 ℃. The development of a new generation of coating equipment,
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