航天器氦质谱真空容器总漏率检测的灵敏度及可信度探讨

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依据航天器氦质谱真空容器总漏率检测原理,讨论了检漏仪和真空容器直接相连、同真空容器主真空泵并联、在前级泵和主真空泵间等连接方式,逐项研究了总漏率测试的最小可检漏率、反应时间,分析各种连接方式的应用特点,认为对大型航天器氦质谱真空容器检漏系统,检漏仪连接在前级泵和主泵之间可得到较好的灵敏度和反应时间。通过测量不确定度的分析与评定,确定一般航天器氦质谱真空容器总漏率检测的相对标准不确定度小于10%。 According to the principle of total leakage rate detection of helium mass spectrometry vacuum vessel in spacecraft, the connection between leak detector and vacuum vessel is discussed. The connection between the leak detector and the main vacuum pump is connected in parallel with the main vacuum pump. Testing the minimum leak rate, reaction time, analysis of the application of various connection characteristics, that the large spacecraft helium mass spectrometry vacuum container leak detection system, leak detector connected between the foreline pump and the main pump can be better Sensitivity and reaction time. Through the analysis and evaluation of measurement uncertainty, the relative standard uncertainty of total leak rate detection of helium mass spectrometry vacuum vessels in general spacecraft is determined to be less than 10%.
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