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采用真空热蒸发沉积技术在衬底上沉积了 WO3 薄膜 ;以金属 W粉为无机原料 ,溶胶 -凝胶技术结合浸渍镀膜方法制备出 WO3 薄膜 ,借助 SEM、可见光分光光度计、椭偏仪等仪器测量了薄膜的特性。实验表明 :热处理使两种方法制得的薄膜致密 ,折射率增大 ,WO3 颗粒增大 ;在热处理条件相同的情况下 ,溶胶 -凝胶法制备的 WO3 薄膜折射率比热蒸镀法制备的 WO3 薄膜折射率小