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Chlorine Gas Sensors with HPS Film on Interdigitated Capacitors

来源 :稀有金属材料与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lanbingxingshi

【摘 要】

：

<正>The Cl2-sensitive heteropolysiloxanes(HPS) film was formed on the interdigital capacitor based on silicon dioxide by means of sol-gel process and spin-on te

【作 者】

：

Wang Dao Jiang Lingyan Fan Cui 

【机 构】

：

ResearchOfficeofChemicalSensors

【出 处】

：

稀有金属材料与工程

【发表日期】

：

2006年A03期

【基金项目】

：

Acknowledgement： This paper was supported by the ＂National Basic Research （973） Program＂ Project of the Ministry of Science and Technology of China （No. 2005CB724201）.

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<正>The Cl2-sensitive heteropolysiloxanes(HPS) film was formed on the interdigital capacitor based on silicon dioxide by means of sol-gel process and spin-on technique.Measurements of interdigital capacitance were performed at room temperature for fr

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