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FSI国际有限公司近日宣布：在2005财年第三季度中，来自欧洲、亚太地区、日本以及美国的领先集成电路制造商对于ANTARES超凝态过冷动力学清洗系统的需求十分强劲。传统上用于后段（BEOL）缺陷去除的ANTARES系统，随着客户将90nm器件技术应用于批量生产而得到了更广泛的应用。
FSI国际90nm技术节点ANTARES超凝态过冷动力学技术继续保持全球领先势头
【摘 要】
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FSI国际有限公司近日宣布：在2005财年第三季度中，来自欧洲、亚太地区、日本以及美国的领先集成电路制造商对于ANTARES超凝态过冷动力学清洗系统的需求十分强劲。传统上用于后段
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2005年8期
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