BCN基薄膜微结构及摩擦学特性研究进展

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综述BCN基薄膜微结构以及摩擦学特性的研究进展;分析元素含量对BCN基薄膜微结构的影响,并阐述薄膜微结构对薄膜机械特性和摩擦学特性的影响。指出:BCN基薄膜微结构受到薄膜制备参数的影响;薄膜机械特性与薄膜微结构有关,而薄膜摩擦学特性与薄膜微结构和摩擦试验环境相关。同时讨论通过优化制备参数来制备性能更加优异的薄膜,以及探究薄膜在不同润滑环境下的磨损机制,并评估其实际工业应用的可行性。
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