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分流片对磁控溅射阴极的磁场分布有较为重要的影响,对提高阴极的溅射速率、利用率及膜层的均匀性有着重要的意义.该文分析了分流片的大小、形状、位置对磁场形成的影响,总结了分流片在设计中应注意的问题.
分流片对矩形平面磁控溅射阴极磁场的影响
【摘 要】
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分流片对磁控溅射阴极的磁场分布有较为重要的影响,对提高阴极的溅射速率、利用率及膜层的均匀性有着重要的意义.该文分析了分流片的大小、形状、位置对磁场形成的影响,总结
【机 构】
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中国建材国际工程集团有限公司
【出 处】
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建材世界
【发表日期】
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2013年4期
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