六工位设备真空系统改造

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电子行业应用的六工位设备大多是20世纪80年代从美国引进的,它以自动化程度高、准确可靠等优点被广泛用于生产及检测设备。 一、系统结构及工作过程 图1中心轴5固定不动,它与轴套3间有四套密封圈4。轴套与转臂架1用螺钉连接,并能绕心轴5旋转。接头6、电磁阀 Most of the six-station equipment used in the electronics industry was imported from the United States in the 1980s. It is widely used in production and testing equipment because of its high degree of automation, accuracy and reliability. First, the system structure and working process Figure 1 Center axis 5 is fixed, it has four sets of seals with the sleeve 4 4. The sleeve and the boom 1 are connected with screws and can rotate about the spindle 5. Connector 6, solenoid valve
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