论文部分内容阅读
本文从光学邻近效应的机理出发,基于区域划分掩模特征线条,实施曝光剂量控制,从而达到光学邻近效应的精细校正。通过模拟测试图形得到改进后的掩模图形畸变率,与传统曝光剂量校正法相比,减少了约4%。
掩模曝光剂量的精细控制工艺设计
【摘 要】
：
本文从光学邻近效应的机理出发,基于区域划分掩模特征线条,实施曝光剂量控制,从而达到光学邻近效应的精细校正。通过模拟测试图形得到改进后的掩模图形畸变率,与传统曝光剂量
【机 构】
：
苏州大学电子信息学院微电子学系
【出 处】
：
中国集成电路
【发表日期】
：
2007年11期
其他文献
在2018年12月召开的全国高校思想政治工作会议上,习近平总书记重点指出,高校思想政治教育工作的根本问题是:培养什么样的人、如何培养人以及为谁培养人。要坚持把立德树人作为中心环节,在教育教学的全过程中贯彻思想政治工作,实现全面育人、全方位育人,努力开创我国高等教育事业发展新局面。在加强和改进大学生思想政治教育工作的过程中,既有发展更有挑战。高校杰出校友资源作为高校教育资源的延伸和补充在大学生思想政
“听”作为人类语言交际方式之一，是语言实用能力的重要组成部分，它不仅有助于促进说，读，写等能力的提高和巩固，而且是吸取语言营养不可缺少的渠道，也是语言交际能力的主要方面。但
<正>英德市地处广东省中北部,森林覆盖率达61.8%,辖区内蕴藏着丰富的稀土资源。然而,这一被称为"工业黄金"的宝贵资源一度引起各路人马包括黑恶势力的觊觎。曾经护卫这片水土
对一种塑料软管 ,采用溶剂萃取方法进行组分分离 ,然后通过红外光谱对分离后的组分进行分析鉴定 ,从而确定塑料软管的组成配方 ,获得了较为满意的结果。
For a kind of plas
塑造、提升城市品牌形象最有效的传播工具和方法就是在开展城市形象内部建设的同时,积极开展城市品牌形象的整合传播活动。文章从城市品牌形象定位、信息传播策略的拟订、各
本文将术语翻译方式分为音译、旧词赋新义和造新词三种并根据索绪尔的语言哲学理论将语言理据分为语音、形态和语义三类以及单语和双语两个方面。在此基础上，本文对术语翻译方
随着国际间合作交流频繁程度的提高,国家形象受到越来越多国家的关注。与此同时,国家形象的塑造已超越政府对政府、组织对组织的传播层面,部分国家已采用国家旅游形象电视宣
<正> 自“反腐败”成为一种公众所关注的社会现象以来,它就以“天然客体”的姿态被纳入了公共舆论的视野,并在公共舆论的场域中不断探寻治愈这一恶疾的有效途径。公共舆论的
主要介绍了一种应用压力传感器对电力机车受电弓的压力进行检测的方法,阐述了装置原理和数据采集、传输及检测过程,给出了现场检测结果分析。该装置的优良性能已在多个机务段