Silicon carbide resonant tuning fork for microsensing applications in high-temperature and high G-

来源 :中国工程科学：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：tiefer34

【摘要】

：

We present the fabrication and testing of a silicon carbide(SiC)balanced mass double-ended tuning fork that survives harsh environments without compromising the

【作者】

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David R Myers Kan Bun Cheng Ba

【机构】

：

DepartmentofMechanicalEngineering,DepartmentofElectricalEngineeringandComputerScienceCleveland

【出处】

：

中国工程科学：英文版

【发表日期】

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2012年5期

【关键词】

：

高温作业应用程序 G-SHOCK 硅谐振碳化硅音叉环境压力传感器 MEMS SiC thermal effects double ended

【基金项目】

：

funded by DARPA Contract No. NBCH1050002

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We present the fabrication and testing of a silicon carbide(SiC)balanced mass double-ended tuning fork that survives harsh environments without compromising the device strain sensitivity and resolution bandwidth.The device features a material stack that s

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