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采用非对称双极脉冲磁控溅射制备了一系列不同调制周期的TiN／NbN纳米多层膜，利用X射线衍射分析（XRD）、纳米压痕仪、扫描电子显微镜（SEM）表征了薄膜的微观结构、力学性能和断口形貌。结果表明，在调制周期为19．86nm时，纳米压痕硬度达到43GPa。利用三点弯曲法形成裂纹的扩展，并观察到了裂纹的偏转特征。