【摘 要】
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文章通过调研多个8.5代TFT行业的纯水项目,对8.5代TFT行业回收水水质和处理工艺进行分析、归纳,总结了不同类型回收水的不同处理工艺和工艺选择。
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文章通过调研多个8.5代TFT行业的纯水项目,对8.5代TFT行业回收水水质和处理工艺进行分析、归纳,总结了不同类型回收水的不同处理工艺和工艺选择。
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