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文章对SPC基本知识进行简单描述,并根据半导体硅片制造工艺的复杂性,重点论述了半导体硅片制造厂的SPC技术应用与传统行业的不同之处。
SPC技术在半导体硅片制造中的应用
【摘 要】
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文章对SPC基本知识进行简单描述,并根据半导体硅片制造工艺的复杂性,重点论述了半导体硅片制造厂的SPC技术应用与传统行业的不同之处。
【机 构】
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上海新进芯微电子有限公司
【出 处】
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企业技术开发
【发表日期】
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2014年10期
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