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磁控溅射法制备了MoS2/Sb2O3固体润滑复合膜，用CSEM摩擦试验机，CSEM纳米划痕仪和PHI－5702ZPS／AES多功能电子能谱仪，考察了其摩擦磨损性能，抗损伤性能和抗氧化性能，侧重分析了薄膜失效的原因，探讨了该固体润滑复合膜润滑失效的微观机理。
磁控溅射MoS_2/Sb_2O_3复合膜的润滑失效分析
【摘 要】
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磁控溅射法制备了MoS2/Sb2O3固体润滑复合膜，用CSEM摩擦试验机，CSEM纳米划痕仪和PHI－5702ZPS／AES多功能电子能谱仪，考察了其摩擦磨损性能，抗损伤性能和抗氧化性能，侧重分析了薄膜失
【机 构】
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兰州物理研究所
【出 处】
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真空与低温
【发表日期】
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2002年2期
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