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期刊论文
LCVD制备多晶硅膜实验研究
LCVD制备多晶硅膜实验研究
来源 :哈尔滨工业大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:YSCX0825
【摘 要】
:
用CWCO_2激光诱发SiH_4反应,在石英基片上淀积多晶硅膜,它的Raman谱表明,激光诱发反应时间越长,结晶度越高.SEM 结果表明,不同淀积时间,表面结构差异较大.薄厚台阶仪测出不同
【作 者】
:
李艳秋
秦汝虎
【机 构】
:
哈尔滨工业大学物理系,哈尔滨工业大学物理系
【出 处】
:
哈尔滨工业大学学报
【发表日期】
:
1989年2期
【关键词】
:
多晶硅
膜
裂解
LCVD技术
Polysilicondepositiondecomposition mechanism.
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用CWCO_2激光诱发SiH_4反应,在石英基片上淀积多晶硅膜,它的Raman谱表明,激光诱发反应时间越长,结晶度越高.SEM 结果表明,不同淀积时间,表面结构差异较大.薄厚台阶仪测出不同实验条件淀积速率变化的规律.同时,结合不同条件下控制过程的反应机制,对结果进行了定性的讨论.
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