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高精度的定位器是精密表密加工及机器人的重要保证。激光干涉定位器具有测量范围大，测量无接触，精度可达０．１－０．０１μｍ，因而具有乐观的应用前景。各国都作了大量的研究工作，并取得了进展。文章对激光干涉定位的机理进行了阐述，着重讨论了调制的作用，给出了实验数据。
激光干涉定位中调制的作用及调制频率的选择
【摘 要】
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高精度的定位器是精密表密加工及机器人的重要保证。激光干涉定位器具有测量范围大，测量无接触，精度可达０．１－０．０１μｍ，因而具有乐观的应用前景。各国都作了大量的研究工作，并取得了进展。文
【机 构】
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国防科技大学应用物理系207中心实验室
【出 处】
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激光与红外
【发表日期】
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1998年1期
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