【摘 要】
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目前陀螺仪在国内外依然处于比较热门的领域,各国都投入了大量财力物力。国外已经开始致力于高精度的陀螺仪的研究,我国正处于追赶阶段。MEMS微机械陀螺在汽车导航、工业控制
【机 构】
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目前陀螺仪在国内外依然处于比较热门的领域,各国都投入了大量财力物力。国外已经开始致力于高精度的陀螺仪的研究,我国正处于追赶阶段。MEMS微机械陀螺在汽车导航、工业控制、、消费电子、移动应用、航空航天等领域得到了广泛的应用。由于陀螺仪芯片体积小（1-10毫米）,所以其研究难点重点在于结构设计、加工制造、封装和性能、成品率、成本等方面。
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