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为了实现全息方法制作闪耀光栅，在对称全息光栅制作方法的墓础上，设计了一种非对称光路进行曝光。模拟了特定显影条件下光栅槽形及其衍射效率光谱。并与理想三角形闪耀光栅比较。结果表明：模拟槽形具备闪耀光栅槽形特征，其正一级衍射效率谱线与相应闪耀光栅非常接近。
非对称全息方法制作闪耀光栅的模拟与分析
【摘 要】
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为了实现全息方法制作闪耀光栅，在对称全息光栅制作方法的墓础上，设计了一种非对称光路进行曝光。模拟了特定显影条件下光栅槽形及其衍射效率光谱。并与理想三角形闪耀光栅比较
【机 构】
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南京信息职业技术学院微电子工程系,苏州大学信息光学工程研究所
【出 处】
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激光杂志
【发表日期】
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2009年4期
【基金项目】
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江苏省高校自然科学重大基础研究项目（07KJA51002）
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