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软x射线波段滤光膜材料大都为自支撑金属薄膜，实验室环境下自支撑薄膜长期与空气接触表面易氧化，空气中的杂质原子进入自支撑薄膜内部，致使自支撑膜光学性能大幅下降．5nm至20nm软X射线波段Zr具有较低的质量吸收系数和较小的密度，在该波段Zr滤光膜透过率较高．采用脱模剂法制备自支撑Zr膜，在洁净的浮法玻璃上蒸镀一层NaCl做为脱膜剂，直流磁控溅射沉积Zr膜，脱膜后的到自支撑Zr膜．为防止薄膜表面氧化及空气中杂质原子进入薄膜内部，在Zr膜两面各直流磁控溅射沉积一层10nm厚的C或Si膜作为保护膜，得到C／Zr／