【摘 要】
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超微机电系统是由微米级零部组件构成的机电一体化产品，它应用前景广阔，涉及光学，医学，生物工程，微型机器人，微型汽车，微型仪器仪表，微型视频，视听装置及宇航等领域。本文就超微机电系
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超微机电系统是由微米级零部组件构成的机电一体化产品，它应用前景广阔，涉及光学，医学，生物工程，微型机器人，微型汽车，微型仪器仪表，微型视频，视听装置及宇航等领域。本文就超微机电系统的发展，关键技术，驱动用超微静电电机及其应用前景展望做一扼要阐述，望能引起同行对此高新技术的重视，并可供作行业和企业制定产品发展规划参考。
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