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对多晶硅集成电路的设计做一定的分析与展望,分析说明多晶硅薄膜的制备工艺和晶化方法、多晶硅集成电路的设计方法、多晶硅集成电路的优势及设计难点。
低温多晶硅集成电路设计与展望
【摘 要】
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对多晶硅集成电路的设计做一定的分析与展望,分析说明多晶硅薄膜的制备工艺和晶化方法、多晶硅集成电路的设计方法、多晶硅集成电路的优势及设计难点。
【机 构】
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天津市中环系统工程有限责任公司
【出 处】
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信息通信
【发表日期】
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2012年04期
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