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对于集成电路板生产来说,不同工艺操作对纯化水均存在较高要求,这使得近年来纯化水的微生物控制日渐受到业界重视。基于此,本文将简单分析微生物对集成电路的影响,并深入探讨纯化水储存与分配系统的微生物控制路径,希望研究内容能够给相关从业人员以启发。
纯化水储存与分配系统的微生物控制研究
【摘 要】
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对于集成电路板生产来说,不同工艺操作对纯化水均存在较高要求,这使得近年来纯化水的微生物控制日渐受到业界重视。基于此,本文将简单分析微生物对集成电路的影响,并深入探讨
【机 构】
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无锡中微掩模电子有限公司
【出 处】
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科学与信息化
【发表日期】
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2021年2期
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