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采用以碳纤维为碳源的固态源ＭＢＥ技术，生长了不同厚度的重掺碳ＧａＡｓ以及具有不同表层厚度的δ碳掺杂ＧａＡｓ通过Ｎｍａｒｓｋｉ干涉显微镜和原子力显微镜对样品表面形貌的观察，分析了掺碳ＧａＡｓ的生长过程和各种缺陷的产生，提出了碳的掺入导致了ＧａＡｓ材料的三维岛状生长，促进了各种缺陷的产生。
掺碳GaAs生长特性的研究
【摘 要】
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采用以碳纤维为碳源的固态源ＭＢＥ技术，生长了不同厚度的重掺碳ＧａＡｓ以及具有不同表层厚度的δ碳掺杂ＧａＡｓ通过Ｎｍａｒｓｋｉ干涉显微镜和原子力显微镜对样品表面形貌的观察，分析了掺碳ＧａＡｓ的生长过程和各种缺陷
【机 构】
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信息功能材料国家重点实验室,200050
【出 处】
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固体电子学研究与进展
【发表日期】
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1997年4期
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