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报道了使用 IL400膜厚速率控制仪监控 SiO 减反射膜的蒸镀,通过对1.3μm 激光器前端面蒸镀 SiO 减反射膜而制成了超辐射发光二极管。更多还原
SiO高效减反射膜的蒸镀和监控
【摘 要】
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报道了使用 IL400膜厚速率控制仪监控 SiO 减反射膜的蒸镀,通过对1.3μm 激光器前端面蒸镀 SiO 减反射膜而制成了超辐射发光二极管。更多还原
【机 构】
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集成光电子学联合实验室吉林大学实验区,集成光电子学联合实验室吉林大学实验区长春130023研究员,长春130023
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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1993年2期
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