【摘 要】
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采用传统电子陶瓷工艺合成了Ca-B-Si（CBS）玻璃掺杂的Ba（Mgl/3Nb2/3）O3微波介质陶瓷,研究了CBS掺杂量对陶瓷微波介电性能的影响。结果表明：CBS掺杂可促进陶瓷烧结并提高B位1：2有序度
【机 构】
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电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
【基金项目】
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四川省青年基金资助项目（No.JS0303001）
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采用传统电子陶瓷工艺合成了Ca-B-Si（CBS）玻璃掺杂的Ba（Mgl/3Nb2/3）O3微波介质陶瓷,研究了CBS掺杂量对陶瓷微波介电性能的影响。结果表明：CBS掺杂可促进陶瓷烧结并提高B位1：2有序度,进而降低微波介质损耗。当w（CBS）=3%时,陶瓷烧结温度由纯相时的1 500℃以上降至1 250℃,表观密度提高到6.32 g/cm3以上,陶瓷的微波介电性能达到最佳值：εr=26,Q.f=67 800 GHz（8 GHz）,τf=25×10–6/℃。该陶瓷有望成为用于高频段微波器件的材料
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