氮化碳薄膜的结构与特性

来源 :无机材料学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zzfsunny

【摘要】

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采用射频等离子体增强化学气相沉积(CVD)+负偏压热丝辅助方法直接在Si(100)衬底上制备了多晶C3N4薄膜.X射线衍射测试表明,薄膜同时含有α-和β-C3N4晶相以及未知结构,没有观

【作者】

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陈光华吴现成贺德衍

【机构】

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兰州大学物理系,兰州大学物理系

【出处】

：

无机材料学报

【发表日期】

：

2001年2期

【关键词】

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化学气相沉积氮化碳薄膜扫描电镜硬度结构制备 CVD C3N4 XRD SEM hardness

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采用射频等离子体增强化学气相沉积(CVD)+负偏压热丝辅助方法直接在Si(100)衬底上制备了多晶C3N4薄膜.X射线衍射测试表明,薄膜同时含有α-和β-C3N4晶相以及未知结构,没有观测到石墨衍射峰.利用扫描电子显微镜观测到线度约2μm、横截面为六边形的β-C3N4晶粒.纳米压痕法测得薄膜的硬度达72.66 Gpa.

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