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基于线阵CCD阵列的在线检测方法
基于线阵CCD阵列的在线检测方法
来源 :半导体技术 | 被引量 : 2次 | 上传用户:leolee
【摘 要】
:
利用矩形光栅离焦投影,产生正弦光场,通过三个严格排列的线阵 CCD阵列对物体三维轮廓进行扫描采样测量,一次扫描就可以获得三幅相位图。利用三步相移技术即可解调高度信息,避免测量过程中的相移操作。本文重点讨论了该方法的原理和特点,并给出试验简图及实际测量结果。
【作 者】
:
周鸿
赵宏
【机 构】
:
西安交通大学机械学院激光与红外应用研究所,西安交通大学机械学院激光与红外应用研究所 陕西 西安710049,陕西 西安710049
【出 处】
:
半导体技术
【发表日期】
:
2001年11期
【关键词】
:
线阵CCD
扫描
在线检测
相移法
三维轮廓
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利用矩形光栅离焦投影,产生正弦光场,通过三个严格排列的线阵 CCD阵列对物体三维轮廓进行扫描采样测量,一次扫描就可以获得三幅相位图。利用三步相移技术即可解调高度信息,避免测量过程中的相移操作。本文重点讨论了该方法的原理和特点,并给出试验简图及实际测量结果。
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