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自组织SiGe量子环的生长与形貌维持
自组织SiGe量子环的生长与形貌维持
来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:abing206
【摘 要】
:
研究了640℃部分覆盖SiGe量子点时量子点向量子环的转变.从应变的角度解释了量子环的形成机制.研究发现在350℃以下覆盖量子环时可以使量子环形貌得到很好的维持.从动力学的
【作 者】
:
李防化
蒋最敏
【机 构】
:
复旦大学应用表面物理国家重点实验室
【出 处】
:
半导体学报
【发表日期】
:
2006年z1期
【关键词】
:
量子点
量子环
SIGE
MBE
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研究了640℃部分覆盖SiGe量子点时量子点向量子环的转变.从应变的角度解释了量子环的形成机制.研究发现在350℃以下覆盖量子环时可以使量子环形貌得到很好的维持.从动力学的角度解释了低温下覆盖SiGe量子环时其形貌得到维持的原因.
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