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期刊论文
高纯六氟乙烷的制备及应用研究进展
高纯六氟乙烷的制备及应用研究进展
来源 :浙江化工 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zjflxj
【摘 要】
:
高纯度的六氟乙烷主要用于蚀刻气体、器件清洗剂、制冷剂等行业。本文介绍了六氟乙烷的性质、制备以及高纯度六氟乙烷的纯化方法,并提出纯度对应用前景的重要性。
【作 者】
:
丁元胜
蔡伟豪
褚晨啸
白占旗
张金柯
缪光武
张建君
张波
【机 构】
:
浙江省化工研究院有限公司,浙江工业大学化工学院,浙江工业大学教科学院
【出 处】
:
浙江化工
【发表日期】
:
2017年9期
【关键词】
:
六氟乙烷
性质
电子气体
高纯
应用
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高纯度的六氟乙烷主要用于蚀刻气体、器件清洗剂、制冷剂等行业。本文介绍了六氟乙烷的性质、制备以及高纯度六氟乙烷的纯化方法,并提出纯度对应用前景的重要性。
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