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高纯度的六氟乙烷主要用于蚀刻气体、器件清洗剂、制冷剂等行业。本文介绍了六氟乙烷的性质、制备以及高纯度六氟乙烷的纯化方法,并提出纯度对应用前景的重要性。
高纯六氟乙烷的制备及应用研究进展
【摘 要】
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高纯度的六氟乙烷主要用于蚀刻气体、器件清洗剂、制冷剂等行业。本文介绍了六氟乙烷的性质、制备以及高纯度六氟乙烷的纯化方法,并提出纯度对应用前景的重要性。
【机 构】
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浙江省化工研究院有限公司,浙江工业大学化工学院,浙江工业大学教科学院
【出 处】
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浙江化工
【发表日期】
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2017年9期
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